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壓力傳感器無法避免的誤差

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1、偏移量誤差

由于壓力傳感器在整個壓力范圍內垂直偏移保持恒定,因此變換器擴散和激光調節修正的變化將產生偏移量誤差。

2、靈敏度誤差

產生誤差大小與壓力成正比,如果設備的靈敏度高于典型值,靈敏度誤差將是壓力的遞增函數;如果靈敏度低于典型值,那么靈敏度誤差將是壓力的遞減函數;該誤差的產生原因在于擴散過程的變化。

3、線性誤差

這是一個對壓力傳感器初始誤差影響較小的因素,該誤差的產生原因在于硅片的物理非線性,但對于帶放大器的傳感器,還應包括放大器的非線性,線性誤差曲線可以是凹形曲線,也可以是凸形曲線。

4、滯后誤差

在大多數情形中,壓力傳感器的滯后誤差完全可以忽略不計,因為硅片具有很高的機械剛度,一般只需在壓力變化很大的情形中考慮滯后誤差。
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